跟踪精度方面，截至2026年3月2日，半导体设备ETF易方达近1月跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度较高。
根据权益变动安排，业绩承诺期内，双方约定共同维持上市公司管理层稳定。受让方有权委派财务总监，总经理由转让方提名，其他核心管理团队和关键岗位人员的人事权归总经理聘任或者解聘。
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